微细加工技术研究现状

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 微细加工技术已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术,受到越来越多的关注。文章主要介绍几种微细加工技术的研究现状。
机构地区 不详
出版日期 2007年06月16日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献